| Tamanho da área de trabalho (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Vácuo Final (Pa) | 1*10-4/ 1*10-3 | 1*10-4/ 1*10-3 | 1*10-4/ 1*10-3 |
| Temperatura Máxima (℃) | 2400/2500 | 2400/2500 | 2400/2500 |
| Uniformidade de temperatura (℃) | ±7,5 | ±7,5 | ±10 |
| Taxa de aumento de pressão (Pa/h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 |